現(xiàn)代薄膜涂布鍍層工藝在進行在線生產(chǎn)過程中，需要對膜厚及涂層厚度進行實時的在線測厚，由于傳統(tǒng)的射線類膜厚檢測儀檢測精度低、易偏移、難于校準等缺點給實際的工藝產(chǎn)品質(zhì)量控制造成了很大的影響，SIMV涂層(膜厚)在線測厚儀，采用納米光學干涉的方式，可同時對20層不用涂層、薄膜進行同時測量，同時精度高達1nm，完美的解決了傳統(tǒng)射線類在線測厚儀有輻射、偏移周期長、檢測精度低、不能檢測涂層厚度的缺點。賽默斐視涂層厚度在線測厚儀檢測精度高，同時能夠?qū)崟r在線自動校準，有效的保證了在線測厚儀的檢測精度。

　　【檢測原理】

　　當特定波長的光通過不同的的材料(不同的厚度、密度、成分)時，經(jīng)過表面及內(nèi)部多次反射之后形成的光譜條紋是完全不一樣的，系統(tǒng)通過分析所接收到的反射光的光譜干涉條紋特性，與系統(tǒng)庫中的光譜曲線進行匹配和對比，同時進行特征曲線的仿真和擬合，進而對每種不同成分厚度的涂層進行在線測量。

　　1.入射光在膜的上下表面發(fā)生多次反射。

　　2.反射光的強度和薄膜折射率，基底(substrate)折射率及膜厚，波長有關。

　　3.在已知折射率的情況下，根據(jù)測量出的反射光強和波長的函數(shù)，計算出膜厚。

　　由上面兩張圖片對比可以發(fā)現(xiàn)，特定波長的光經(jīng)過某種不同的材料(不同厚度、密度、類型)內(nèi)部反射之后所產(chǎn)生的光譜干涉條紋完全不同，如上圖圖中黑色線條部分，根據(jù)每種干涉條紋與系統(tǒng)庫中的條紋進行對比仿真擬合，從而檢測出實際的材料厚度。

　　【系統(tǒng)功能】

　　【軟件介紹】

　　軟件主界面基本示意如下圖所示：

　　【現(xiàn)場應用】

　　涂層/膠層在線測厚系統(tǒng)在保護膜、膠帶的現(xiàn)場應用如下圖所示。